Hexafluorure de soufre N50

SF6
Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto (soumis à déclaration et habilitation du personnel nécessaire)

Applications :
• Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs)

• Gravure de silicium métallique (spécialement pour le tungstène) les nitrures et oxydes (règlementé UE n° 517/2014)
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SPÉCIFICATIONS TECHNIQUES

Référence P0964
État physique liquide
Densité relative (gaz) 5 (air = 1)
Densité relative (liquide 1 & 2) 1,4 (eau = 1)
Poids moléculaire 146 g/mol
Connexion Soupap AFNOR C - IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle DIN 6
N° CAS 2551-62-4
Molécule unique SF6 > 99,999 %
Impuretés (voir tous les détails dans la fiche technique du produit) CF4 ≤ 1 ppmv
CO ≤ 3 ppmv
CO2 ≤ 0,5
H2O ≤ 3
CH4 ≤ 1
Acidité (HF) ≤ 0,5 Vol. ppm
N2 ≤ 8
O2+Ar ≤ 1
Informations complémentaires Potentiel de Réchauffement Global (PRG)(CO2=1) : 22 800
Couleur incolore
Odeur inodore
Conservation 36 mois
SÉCURITÉ :


Risques :risque d’asphyxie à haute concentration
Gamme d'inflammabilité :ininflammable
Hexafluorure de soufre N50
TRANSPORT :
Désignation officielle :Gaz liquéfié
N°ONU :1080
Classe ADR :2
Code de classification :2A

Pictogrammes ADR :
Hexafluorure de soufre N50