Hexafluorure de soufre N50
SF6
Gaz à effet de serre relevant du protocole de Kyoto (soumis à déclaration et habilitation du personnel nécessaire)
Applications :
• Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs)
• Gravure de silicium métallique (spécialement pour le tungstène) les nitrures et oxydes (règlementé UE n° 517/2014)
Applications :
• Gravure plasma (fabrication de semi-conducteurs)
• Gravure de silicium métallique (spécialement pour le tungstène) les nitrures et oxydes (règlementé UE n° 517/2014)
SPÉCIFICATIONS TECHNIQUES
| Référence | P0964 |
| État physique | liquide |
| Densité relative (gaz) | 5 (air=1) |
| Densité relative (liquide 1 & 2) | 1,4 (eau=1) |
| Poids moléculaire | 146 g/mol |
| Connexion Soupap | AFNOR C - IS 21,7 x 1,814 - à droite mâle DIN 6 |
| N° CAS | 2551-62-4 |
| Molécule unique | SF6 ≥ 99,999 % |
| Impuretés (voir tous les détails dans la fiche technique du produit) |
CF4
≤ 1 ppmv
CO ≤ 3 ppmv CO2 ≤ 0,5 H2O ≤ 3 CH4 ≤ 1 Acidité (HF) ≤ 0,5 Vol. ppm N2 ≤ 8 O2+Ar ≤ 1 |
| Informations complémentaires | Potentiel de Réchauffement Global (PRG)(CO2=1) : 22 800 |
| Couleur | incolore |
| Odeur | inodore |
| Conservation | 36 mois |
SÉCURITÉ :
Risques :risque d’asphyxie à haute concentration
Gamme d'inflammabilité :ininflammable
Risques :risque d’asphyxie à haute concentration
Gamme d'inflammabilité :ininflammable
TRANSPORT :
Désignation officielle :Gaz liquéfié
N°ONU :1080
Classe ADR :2
Code de classification :2A
Pictogrammes ADR :
Désignation officielle :Gaz liquéfié
N°ONU :1080
Classe ADR :2
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